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      擴散/氧化/退火上下料機

      產品特點

      最高產能可達到16000pcs/h

      可根據客戶需求進行配置

      特制精密陶瓷吸盤,陶瓷頂齒,陶瓷側齒,減少硅片劃傷,保證設備的穩定性

      技術參數

      技術參數相關參數
      產能8000/11000/16000 pcs/h
      石英舟規格 1000/1200/1600槽 ,節距2.38mm
      硅片尺寸 166mm-210mm
      適用花籃100 cassette
      碎片率≤0.03%
      開機率≥98%
      耗氣量1000L/min
      具體參數如有變動,本公司不另行通知!
      返回
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