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      板式PECVD上下料機

      產品特點

      最高產能可達到6000pcs/h 

      可根據客戶需求進行定制 

      設備結構簡單穩定

      技術參數

      技術參數相關參數
      產速 4000 /6000 pcs/h(可訂制)
      碳框尺寸 

      10*10(5*5,5*6,8*10,9*10 可選)

      硅片尺寸 

      166mm-210mm

      碎片率  ≤0.02%
      開機率≥98%
      功率15kW
      耗氣量500L/min
      具體參數如有變動,本公司不另行通知!
      返回
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